12月9日と10日に開催された“ポタフェス2023冬 秋葉原”のレポート記事で、MEMSスピーカーを採用したNoble Audioの完全ワイヤレスイヤホン「FALCON MAX」が展示されたことを紹介した。12月19日には、輸入代理店のエミライとxMEMS Japanの合同プレスイベントも開催されている。その内容と試聴用のサンプル機のインプレッションを合わせて掲載する。
FALCON MAX
エミライ 取締役の島幸太郎氏は、Noble AudioとxMEMS Japanのパートナーシップについて説明した。Noble AudioはBAドライバーを伝統的に採用してきたが、近年入手が困難になっているという問題の解決や技術的な行き詰まりを打開するために、2019年の「KHAN」を嚆矢に様々な種類のドライバーとその特性を活かす設計を模索し始めた。MEMSスピーカーの採用はその延長上にある戦略で、直接の契機は1月開催のCES 2023でxMEMS社のブースを訪問し、MEMSスピーカーの可能性を感じたことだという。
エミライの島氏
MEMSスピーカーの特徴
xMEMS Japan 副社長のマーク・ウッド氏はMEMSスピーカーについて説明した。本連載では早い段階からMEMSスピーカーに着目して紹介を続けてきたが、インタビューを通じて詳細な話を聞かせてくれた人物である。
xMEMSのマイクロスピーカー（MEMSドライバー）について解説するマーク・ウッド氏
xMEMSは創業から6年ほどの新しい会社であり、MEMSスピーカー技術をイヤホンや補聴器などに活用することを目的とした企業だ。デバイスの製造はTSMCの工場に委託している。保有特許は130以上に及ぶとのこと。MEMSスピーカーは、8インチのシリコンウエハーから切り出される。製造方法は通常の半導体チップ（IC）と同じであるが、MEMSはデバイスの一部が機械的に稼働するのが特徴だ。いわばシリコンドライバーであるMEMSスピーカーは、この稼働部を空気振動に活用するデバイスである。
MEMSスピーカーの振動部は、xMEMSの場合、シリコンの膜に薄膜のピエゾを重ねたものになっている。ピエゾは電圧をかけることで動作するので、これで空気を動かして音を出す仕組みだ。MEMSスピーカーは、ダイナミック型ドライバーなど、従来型のドライバーとは異なり、組み立ての工程がないため、製造時のばらつきが少なく、位相特性にも優れる。また、小型軽量なので、バランスド・アーマチュア（BA）型ドライバーと比較した厚さは1/3ほどである。レスポンスも従来型ドライバーと比べて100倍ほど速く、1万Gの力に耐える高い耐久性を持つ。また、長時間使用しても劣化が少ないという利点もあるそうだ。
デメリットは、まだコストが高い点だが、これは生産規模によって変化していくだろう。もうひとつのデメリットは（特に低域の）感度だ。逆位相の波で騒音を打ち消すアクティブ・ノイズキャンセリング（ANC）を実現するためには、騒音と同じだけの音圧を出す必要があるが、現状では十分ではない。完全ワイヤレスイヤホンでは、MEMSスピーカーを主にツィーターとして採用しているが、これはMEMSスピーカーの高域特性がいいということに加え、フルレンジに使うと、ANC機能が搭載できなくなるのが理由のようだ。言い換えると、ANCを持たない有線イヤホンではその問題がなくなる。過去に連載で紹介したSingularityの製品（ONI）などでは、MEMSスピーカーをフルレンジで使用しているとのことだ。
また、MEMSスピーカーを駆動するためには高い電圧が必要になるのも考慮が必要だ。「FALCON MAX」は、このためにxMEMSが提供するアンプ「Aptos」を搭載している。イヤホンに内蔵できるほど小型の昇圧アンプだ。
プレゼンで興味深かったのは、デモ用に制作されたスピーカーだ。ツィーター部が、MEMSスピーカーを16個並べたスピーカーアレイになっている。MEMSは位相特性の均一性が高いので、こうした用途にも向いていると思われる。
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